靶材分类方法有很多种，根据应用分类主要包括半导体领域应用靶材、磁记录介质靶材、光学靶材、显示器薄膜靶材、光记录靶材等。根据化学键组成的不同又可以简单的分为金属靶材和陶瓷靶材，金属靶材包括纯金属靶和合金靶，陶瓷靶材可以分为金属氧化物陶瓷靶材、硅化物陶瓷靶材、氮化物陶瓷靶材、氟化物陶瓷靶材和硫化物陶瓷靶材。主要靶材的组成成份和具体用途详情请见表1-1。
表1-1 靶材的分类及应用
本文由桑尧热喷涂网收集整理。本站文章未经允许不得转载；如欲转载请注明出处，北京桑尧科技开发有限公司网址：http://www.sunspraying.com/
|
