低压等离子喷涂(LPPS)形成的涂层氧含量低，且相当致密。采用低压等离子喷涂在普通钢上制备8%Y2O3-ZrO2热障涂层［23］:随着压力增加，粉末熔化越充分，空隙越少;与普通等离子喷涂相比，低压等离子喷涂层的表面粗糙度更低。采用低压等离子喷涂制备的YSZ涂层中的柱状晶和等轴晶的比例随着腔体压力的改变而改变，在极低压力下，可获得完全的YSZ柱状组织。
为了提高热障涂层与基体的结合力，可采用低压等离子喷涂制备金属粘结底层，再大气等离子喷涂制备陶瓷面层。在高温镍基合金上低压等离子喷涂NiCoCrAlTaY底层，再大气等离子喷涂8%Y2O3-ZrO2热障涂层:在高温热处理(1050～1250℃)后，涂层的晶粒明显长大;涂层的抗热震性能为900℃水淬23次，1000℃水淬12次，1100℃水淬2次涂层剥落;随氧化物厚度的增加，应力也随之增大，氧化膜开裂，最终导致热障涂层剥落失效。与大气等离子喷涂相比，低压等离子喷涂制备的热障涂层与基体为冶金结合，涂层无氧化物，不呈层状结构，孔隙率低。低压等离子喷涂主要用于制备航空工业等高科技领域的涂层，如飞机涡轮发动机叶片等。
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