超音速等离子喷涂超导陶瓷涂层已经有了一定的研究进展。等离子弧的温度非常高,在没有保护气下可以喷涂复合氧化物陶瓷,也适用于喷涂形状复杂的超导零件,具有高的趁机效率,对于厚膜涂层及较大面积的涂层也易于制备。在很多方面如微波元件、磁屏蔽器件、传输器件及量子电子器件有广泛的应用。常用于等离子喷涂的超导陶瓷涂层材料,主要有钇钡铜氧(YBaCuO)和铋锶钙铜氧(BISrCaCuO)。钇钡铜氧临界温度为94K,是一种常见的超导涂层。由于等离子喷涂过程中的氧损失导致钇钡铜氧涂层中存在孔隙和裂纹及不均匀接触,使钇钡铜氧涂层不具有超导性。必须对钇钡铜氧进行一定的热处理,在钇钡铜氧涂层中形成均匀、致密、稳定的集体结构,从而使其具有超导特性。由于Bi2Sr2Cu2CaOy在高温急冷或淬冷后具有超导特性,而等离子喷涂能获得106℃/s的急冷冷却速率,因此,使用适当的等离子喷涂参数可以获得具有超导特性的Bi2Sr2Cu2CaOy陶瓷涂层。
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